一种PET镀膜方法、镀膜PET[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 111172500 A(43)申请公布日 2020.05.19

(21)申请号 202010045208.0(22)申请日 2020.01.16

(71)申请人 浙江晶驰光电科技有限公司

地址 318001 浙江省台州市椒江区开发大

道东段2198号一期联合厂房3楼-A(72)发明人 陆张武　徐勇军　李恭剑　王迎　

徐征驰　(74)专利代理机构 浙江千克知识产权代理有限

公司 33246

代理人 张海兵(51)Int.Cl.

C23C 14/20(2006.01)C23C 14/08(2006.01)C23C 14/18(2006.01)C23C 14/10(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页

C23C 14/16(2006.01)C23C 14/34(2006.01)C23C 14/58(2006.01)

(54)发明名称

一种PET镀膜方法、镀膜PET(57)摘要

一种PET镀膜方法、镀膜PET，属于镀膜技术领域。方法包括：步骤S01,在PET基板表面溅镀Ti；步骤S02，在溅镀Ti层的PET基板上进行镀膜。本镀膜PET基于上述方法制备。本发明在PET薄片基本表面镀膜，采用特定的膜层设计，使之与PET表面精密粘结，并达到在400nm～700nm光谱波段平均反射率低于0.15％的吸光作用。

CN 111172500 ACN 111172500 A

权　利　要　求　书

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1.一种PET镀膜方法，其特征在于，包括:步骤S01,在PET基板表面溅镀Ti；步骤S02，在溅镀Ti层的PET基板上进行镀膜。2.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，步骤S01具体包括：真空溅射镀膜机对腔体抽真空；在PET基板表面溅镀Ti。

3.根据权利要求2所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，步骤S01溅镀Ti层的厚度为20-200nm。

4.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，所述步骤S02具体包括：在溅镀Ti层的PET基板上依次溅镀Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2。

5.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，所述步骤S02中镀膜温度不超过200℃。

6.根据权利要求4所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，镀膜的膜厚不超过300nm。7.根据权利要求4所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，镀膜后的PET基板具有400-700nm波段的吸光特性。8.一种镀膜PET，其特征在于，采用上述权利要求1的PET镀膜方法制备；所述PET包括PET基板、膜层、Ti层；所述Ti层设于PET基板和膜层之间。

9.根据权利要求8所述的一种镀膜PET，其特征在于，所述膜层由Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2构成。

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说　明　书

一种PET镀膜方法、镀膜PET

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技术领域

[0001]本发明属于镀膜技术领域，具体涉及一种PET镀膜方法、镀膜PET。

背景技术

[0002]类似于低反射率的减反射膜镀膜，一般用在玻璃等基板上，脆性和延展性相对不足，最重要的是无法达到吸光作用。现有镀膜技术在PET表面镀膜，PET折皱严重，膜层不均匀，光谱达不到要求。

[0003]发明专利申请CN201510835077.5公开了一种电子设备壳体的镀膜制备工艺，并具体公开了工艺包括以下步骤：离子轰击步骤：将一面经过UV转印处理的透明PET片材置于真空镀室内，对所述PET片材的表面进行离子轰击；镀膜步骤：利用真空镀膜方式在所述PET片材的表面依次镀上SiO2膜、TiO2膜、铟膜和SiO2膜。该工艺中PET折皱严重，膜层不均匀。发明内容

[0004]本发明针对现有技术存在的问题，提出了一种耐折性好，具有反射率低于0.15％吸光作用的PET镀膜方法、镀膜PET。

[0005]本发明是通过以下技术方案得以实现的：[0006]本发明一种PET镀膜方法，包括:[0007]步骤S01,在PET基板表面溅镀Ti；[0008]步骤S02，在溅镀Ti层的PET基板上进行镀膜。[0009]将Ti层作为基板和膜层之间的粘结层，避免PET折皱，膜层不均匀。[0010]作为优选，步骤S01具体包括：真空溅射镀膜机对腔体抽真空；在PET基板表面溅镀Ti。

[0011]作为优选，步骤S01溅镀Ti层的厚度为20-200nm。[0012]作为优选，所述步骤S02具体包括：在溅镀Ti层的PET基板上依次溅镀Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2。

[0013]作为优选，镀膜温度不超过200℃。[0014]作为优选，镀膜的膜厚不超过300nm。[0015]作为优选，镀膜后的PET基板具有400-700nm波段的吸光特性。[0016]一种镀膜PET，采用上述PET镀膜方法制备；所述PET包括PET基板、膜层、Ti层；所述Ti层设于PET基板和膜层之间。[0017]作为优选，所述膜层由Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2构成。[0018]本发明具有以下有益效果：[0019]本发明一种PET镀膜方法、镀膜PET，在PET薄片基本表面镀膜，采用特定的膜层设计，使之与PET表面精密粘结，并达到在400nm～700nm光谱波段平均反射率低于0.15％的吸光作用。

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说　明　书

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附图说明

[0020]图1为本发明一种PET镀膜方法的流程图；

[0021]图2为采用本发明一种PET镀膜方法制备的PET在不同波段下的反射率曲线图。具体实施方式

[0022]以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。[0023]如图1，本发明一种PET镀膜方法，包括：[0024]步骤S01,在PET基板表面溅镀Ti；[0025]步骤S02，在溅镀Ti层的PET基板上进行镀膜。[0026]步骤S01具体包括：真空溅射镀膜机对腔体抽真空，如抽至4E-4～2.0E-3Pa区间。随后，在PET基板表面溅镀Ti。优选地，溅镀Ti层的厚度为20-200nm。[0027]之后，膜层通过Ti层镀于PET基板上。Ti层作为膜层与基板之间的粘结层。由于Ti的覆盖性好，镀膜的空洞少，致密性好，比对材料，如Cr，Cr的性能不如Ti，为此Ti层能确保膜层均匀度。并且，Ti与基片及镀膜材料的粘结性好，Ti的化学稳定性好，镀膜后的PET不易折皱。另外，Ti的吸光性好，膜层设计中Ti层起到吸光作用，需要好的吸光性，能进一步降低反射率，提高透过率。

[0028]所述步骤S02包括：在溅镀Ti层的PET基板上依次溅镀Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2。具体地，首先，在膜上溅镀Al2O3,使用Al靶，激发Al原子电离后溅射至膜上，充氧氧化形成Al2O3。其次，在膜上溅镀Ti，使用Ti靶，激发Ti原子电离后溅射至膜上，充氧氧化形成TiO2。或者直接镀TiO2。接着，在膜上溅镀Al2O3,使用Al靶，激发Al原子电离后溅射至膜上，充氧氧化形成Al2O3。最后，在膜上溅镀SiO2,使用Si靶，激发Si原子电离后溅射至膜上，充氧氧化形成SiO2。其中，镀膜温度不超过200℃。通过镀膜材料和膜层设计，使得具有在400nm-700nm波段具有超高的吸光特性，平均反射率低于0.15％以下，色度L小于1.3，A绝对值小于0.2，色度B值介于-0.42至0.3之间(参见图2)。[0029]本发明上述方法制成的镀膜PET，总膜厚控制300nm以内，并达到吸光作用。镀膜PET包括PET基板、Ti层、膜层。Ti层作为粘结层设于PET基板和膜层之间。所述膜层由Al2O3、Ti、Al2O3、SiO2构成。本发明的基板为超薄的PET，有良好的力学性能，冲击强度是其他薄膜的3～5倍，耐折性好，可以用作一定暗背景下保护层。[0030]本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

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说　明　书　附　图

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图1

图2

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